Описание

Система «LudovicaModel» является принципиально новым и примечательным оборудованием, которое добавит авторитетности любой чистой комнате, как в НИОКР, так и на производстве. 

Система «LudovicaModel» является системой спреевой обработки. Системы могут оснащаться различными типами ванн с их различным модульным проектированием. Данная система оснащена камерой из фторопласта, которая предназначена для обработки до двух 8-дюймовых кассет для полупроводниковых пластин.

Серводвигатель вращает внутренний ротор, что обеспечивает идеальную равномерность расположения полупроводниковой пластины. По кругу камеры для обработки расположены жиклёры для PFA, через которые поступают химические вещества на этапе обработки, H2ODI для фазы очистки и ГОРЯЧИЙ N2 для этапа сушки.

Модель имеет различные устройства для различных методов мокрой обработки кремниевых подложек или других изделий.

Все процессы выполняются внутри горизонтальной камеры цилиндрической формы, которая имеет специальные отверстия для впрыска необходимых жидкостей: сначала H2ODI, затем химическое вещество, затем снова H2ODI. По окончанию процесса: этап сушки горячим N2 + центробежная(ые) кассета(кассеты) со скоростью вращения до 3000 об/мин.

 

Особенности системы "LudovicaModel"

Камера для обработки представляет собой механизированный блок. Он полностью изготовлен из штампованного фторопласта и имеет цилиндрическую форму. Большая толщина стенок: 20 - 40 мм. Внутри камеры расположены 8 манифольдов с отверстиями для равномерного распределения жидкости.

Наиболее инновационные и принципиально новые характеристики:

• выполнение процессов очистки, травления и т. д. в уникальной камере для обработки, включая окончательную сушку;
• модуль с буферными резервуарами, содержащими специальные растворы (с комнатной, средней или высокой температурой). Ассортимент применяемых химических веществ может быть расширен в соответствии с запросом заказчика;
• автоматическое смешивание раствора с помощью линейных дозирующих систем, подключенных к системе управления данными CDS
• обработка может производиться спреевым методом, методом погружения или гибридным методом (первая фаза - спреевая обработка, вторая фаза - с переливом и рециркуляцией растворов)
• возможность использования свежих растворов одноразового использования или их восстановления (в соответствии с фазами процесса и/или требованиями заказчика)
• эксплуатационные условия всегда соответствуют условиям окружающей среды. Вентиляционное отверстие подключенно к вытяжной системе
• в каждом технологическом цикле могут обрабатываться до 2 8-дюймовых кассет, содержащих по 25 полупроводниковых пластин каждая.

Мокрая обработка с помощью системы «Ludovicamodel» гарантирует отличные результаты благодаря реализованной в ней технологии и повторяемости на каждом этапе обработки. Более того, ни оператор, ни окружающая среда не могут оказывать влияния на конечный результат обработки. Фактически, все процессы выполняются в одной и той же горизонтальной камере.

Инжиниринг определит:

• технологические циклы (продолжительность, расход, давление, химическую смесь, температуру раствора и т. д.);
• метод обработки (спреевая обработка или погружение с функцией рециркуляции и перелива жидкости). Раствор может быть свежим или рециркулированным.

Еще одним преимуществом системы «Ludovicamodel» является практически полное отсутствие отработанных газов, которые образуются в ходе обработки с использованием открытых резервуаров или при локальных выпусках.

 

Индивидуальный подход

Каждая система, которую мы изготавливаем, адаптирована под требования заказчика. На первой встрече мы обсуждаем потребности заказчика и можем предложить правильное решение для каждой проблемы.

Для использования растворителей обычно применяются материалы из нержавеющей стали в соответствии с правилами безопасности с точки зрения противопожарной защиты. Для использования веществ на кислотной основе применяются специальные устойчивые к коррозии  полимерные материалы (соответствие стандарту FM 4882). В обоих случаях используются высокоэффективные материалы, гарантирующие отсутствие химического загрязнения или ухудшения характеристик, безопасность и длительный срок службы оборудования.

Система «Ludovicamodel» может иметь конфигурацию с одной или двумя кассетами. Размер обрабатываемых полупроводниковых пластин составляет от 3 до 8 дюймов.

Система «Ludovicamodel» управляется ПЛК и сенсорным экраном для управления всей системой. Программное обеспечение разработано инженерами компании SPM, имеет современную графику и расширенный функционал, например:

• Управление инструкциями;
• Регистрация данных в режиме реального времени и повременная регистрация;
• Прямое управление трубопроводами и контрольно-измерительной аппаратурой: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Протокол SECS-GEM (опция)

Все инструменты соответствуют правилам безопасности CE. В случае необходимости, мы можем изготовить и сертифицировать оборудование согласно ATEX